空分過程氣分析系統的原理主要有化學電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。而在進行微量氧分析時，由于空氣中氧含量高達21%，所以如果處理不當易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正常。
空分過程氣分析系統采用電子流量控制，無堵塞現象全中文人機對話菜單，操作直觀方便，液晶顯示，可同時顯示氧含量、流量、日期、時間，儀器內部溫度等參數，定時自動存儲功能，可隨時查看存儲數據，連續采樣法的特點是采用不同測量方法，由采樣預處理系統和分析儀表兩部分組成，采樣探頭將被測氣體從煙道或管道中引出并進行預處理后，連續送入儀器的氣體室中，通過不同的方法完成氣體濃度的測量。傳感器可以非常穩定可靠的工作很長時間。燃料電池氧傳感器是*免維護的。但是在使用過程中，需要經常校準，確保其測試的準確性。
在實際測量中，樣氣壓力一般都為正壓，但樣氣中的氧是微量級的，根據法拉利定律，氧的分壓與其體積含量成正比，環境空氣中氧含量約21%，與以PPM計算濃度的樣氣的氧分壓相差一萬倍左右，因而氣樣中微量氧的分壓遠低于大氣中的氧分壓，當出現泄漏時，大氣中的氧便會從泄漏部位迅速擴散進來。
其檢測的就是ppm級別的氧含量，因此配套管線必須嚴格密封，非常微小的管線泄漏（管線連接點、接頭等）都會導致環境空氣中的氧擴散進來，造成實際測量數值偏高。
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